Heater Block Novellus Concept Ⅰ&Ⅱ Sequal

Boboo’s business started with making these Heater block. their Heater blocks have

• Best Temperature Uniformity
• Excellent Flatness
• Cost Competitiveness

Heater Block 150mm, Novellus C1,C2
type                                                           p/n

• Notch General                             19-00155-01
• Non Notch General                    19-00155-00
• Ground Hole 12EA                     19-00155-01
• SLIT 3Line at Total 7 Stations 19-00155-01
• SLIT 5Line at Total 7 Stations 19-00155-01-S
• 28 Pinned at Total 7 Stations   19-032015-01
• 4 Pinned at First Station           19-032015-02
• 56 Pinned at Total 7 Stations   19-024371-01

Heater Block 200mm Novellus C1,C2

type                                                                         p/n

• Non Notch General                                              19-00154-00
• SLIT 5Line at All 6 Stations                               19-00154-00-S
• SLIT 5/3Line at All 6 Stations                           19-00154-00-S
• Notch General                                                       19-00154-01
• 24 Pinned at All 6 Stations                                 19-024227-00
• 4 Pinned at First Station                                     19-024227-01
• 4 Pinned at First Station & SLIT 5/3 Line       19-024227-01-S
• 24 Pinned at All 6 Stations & SLIT 5/3 Line   19-024227-01-SP
• 4 Pinned(8″) at Zero Station                               19-024227-02
• 4 Pinned(6″) at First Station                               19-027038-01
• 4 Pinned(6″) at First Station & SLIT 5/3 Line 19-027038-01-S

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